| 機
型 |
德 |
日 |
台 |
韓 |
總計 |
| TMAH238濃度分析装置 |
1 |
|
3 |
|
4 |
| TMAH238濃度管理裝置 |
|
|
25
|
18 |
43
|
| TMAH040稀釋裝置 |
|
1 |
2 |
|
3 |
| TMAH048稀釋裝置 |
|
|
1 |
|
1 |
| TMAH238稀釋裝置 |
|
7 |
6 |
1 |
14 |
| TMAH238再生裝置/連
續式 |
|
|
19 |
1 |
20 |
| TMAH238光阻去除裝置 |
|
1 |
19 |
3 |
23 |
| TMAH238亞克力
/PFA光阻去除裝置 |
|
|
2
|
|
2
|
| 剥離液管理装置 |
|
1 |
|
|
1 |
| 界面活性劑4%稀釋供給装置 |
|
1 |
|
|
1 |
| 界面活性劑5%稀釋供給装置 |
|
9 |
|
|
9 |
| 界面活性劑0.25%稀釋供給装置 |
|
|
1 |
|
1 |
| 小型TMAH238光阻去除
裝置 |
|
1 |
|
|
1 |
| NAOH稀釋供給裝置 |
|
2 |
|
|
2 |
| NAOH濃度管理裝置 |
|
3 |
|
|
3 |
| KOH濃度管理/管理+稀釋
裝置 |
|
|
23
|
1 |
24 |
| 總計 |
1 |
26 |
101
|
24 |
152
|
|