•耐溶剤性、耐ガス性に優れている。

•高温(230℃)にて使用可能。

•摺動等の物理的ストレスが、他のタイプに比較し安定している。

•主にチャンバー外のガスライン、ウエットエッチング、及びCVD装置に使用される。

•アミン、スチームに耐性がある。

•ブラックタイプに比べ、プラズマ環境下でもパーティクルの発生が極めて少ない。

•温度的には、200℃以下の使用が望ましい。

•主にCDE等のドライエッチングのチャンバー内で使用される。

•70Wの硬度を上げたタイプ。

•主にドライプロセスのゲートバルブ等に使用される。
 
  

•ノンパーティグルグレード(重金属を一切含まない）。

•硬度が低いため、高温で使用すると変形する場合がある。

•O2に対して非常に良好。

•覗き窓等の固定部に適している。

•クリアータイプのノンパーティクル性をキープし硬度を上げたタイプ。

•特にパーティクルを嫌う高集積回路のドライエッチング及び液晶装置のエッチング、アッシングのようにガス量の多い装置に最適。

•クリアータイプ同様重金属を一切含んでいないため腐蝕も起こらない。

•マイクロウエーブの装置には効果絶大。

•300℃までの高温耐久性実現。

•圧縮永久歪良好。

•アウトガス性良好。

•75Bにくらべ、伸び/強度/耐熱性を向上させたもの。

•その他の特性は、７５Bと同様。

•70Wに比べ、伸び/強度/耐熱性を向上させたもの。

•その他の特性は、70Wと同様。

•NFaにも耐性あり。

•重量減少が最も少ないNFa､O2に特に耐性有り。