| 装置タイプ |
ドイツ |
日本 |
台湾 |
韓国 |
総計 |
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TMAH238濃度分析装置 |
1 |
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3 |
|
4 |
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TMAH238濃度管理装置 |
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21 |
18 |
39 |
| TMAH040希釈装置 |
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1 |
2 |
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3 |
| TMAH048希釈装置 |
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|
1 |
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1 |
| TMAH238希釈装置 |
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7 |
6 |
1 |
14 |
|
TMAH238再生裝置，連続式 |
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19 |
1 |
20 |
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TMAH238レジスト除去裝置 |
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1 |
19 |
3 |
23 |
| 剝離液管理装置 |
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1 |
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|
1 |
|
界面活性剤4%希釈供給装置 |
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1 |
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1 |
|
界面活性剤5%希釈供給装置 |
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9 |
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9 |
|
界面活性剤0.25%希釈供給装置 |
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1 |
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1 |
|
小型TMAH238レジスト除去装置 |
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1 |
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1 |
| NAOH希釈供給装置 |
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2 |
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|
2 |
| NAOH濃度管理装置 |
|
3 |
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|
3 |
| KOH濃度管理装置 |
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|
21 |
1 |
22 |
| 総計 |
1 |
26 |
93 |
24 |
144 |
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