現像液濃度管理装置(DCS)
DCS

システム概要

  • C/D Toolsの現像液タンク中の現像液及びレジスト濃度を測定
  • プロセス濃度の新液でレジスト濃度を管理
  • 高濃度の新液で現像液濃度を管理
  • 現像液の使用量を削減・延命

適用：各産業にでTMAH,KOH,NAOH
1vs多 レジスト除去・輸送装置(DRS/PRSS)
DRS/PRSS

システム概要

  • C/Dよりのレジスト混入TMAHを全量PRSS(膜分離システム）に回収し再生TMAHとして使用する
  • レジスト濃度は新液に近い状態で運転可能

適用：電子産業TMAH,KOH,NAOH
1vs1濃度管理+レジスト除去装置(DVRC)
DC-PRSS

系統概要

  • C/Dよりのレジスト混入TMAHを全量PRSS(膜分離システム）に回収し再生TMAHとして使用する
  • レジスト濃度は新液に近い状態で運転可能
  • コンパクト設計で生産ラインの近傍に設置可能なため管理が利便

適用：各產業小型生産ライン増設
1vs1 レジスト除去装置(C-PRSS)
C-PRSS

系統概要

  • C/Dよりのレジスト混入TMAHを全量PRSS(膜分離システム）に回収し再生TMAHとして使用する
  • レジスト濃度は新液に近い状態で運転可能
  • コンパクト設計生産ラインのソバに設置、管理便利

適用：電子産業TMAH個別増設向